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对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其......
射频微电子机械系统RF MEMS开关的高隔离度与低插入损耗特性,同开关自身的结构参数密切相关.为了得到更好的开关性能,在设计过程中......
本文针对一字型悬臂梁RF MEMS开关,提出了两种降低驱动电压RF MEMS开关的方法,分别为:增大局部驱动面积和降低弹性系数.根据这两种......
介绍了MEMS-IMU、RF MEMS和MOEMS等MEMS技术的基本内涵、特点及国外发展情况.重点介绍和分析了各项MEMS技术在战术导弹制导、导航......
提出了一种新颖的运用于射频通信系统VCO中的RFMEMS可变电容.该电容使用平行板和T形梁结构,使用硅衬底,整个结构由铝材料组成,结构......
RFMEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点。通过在共面波导信号线上贴敷低介......
介绍了一种K波段双桥结构的电容式RF MEMS开关，该开关的结构特点是，以共面波导上的悬空金属膜为双桥结构，并且膜桥的支撑呈折叠弹簧结......
